起照片上的人而言,这些都是细枝末节了。
在他看来,这太不可思议了。
云帝乜了他一眼,“认识?”
程进回了一个白眼,“废话!我也是干这行的!虽然我确实水了点,但我毕竟是做科研的,行业领域内什么新动向我还是知道的。”
他手指点了点照片,“林本坚,夷积电高级工程师,在当前193n光刻光源停滞了二十多年无法突破下,去年提出了浸入式光刻技术,算是一个另辟蹊径的发展方向。”
说到这里,他摇了摇头,“但是,他的理论,并不被当前的市场所接受。去年提出的时候,没有市场买单。
现在的路径一共四大阵营,尼康占主导的157n激光、因特尔bd摩托骡拉联合的135neuv、ne托西巴ntt和ib联合的1n接近式x光、朗讯贝尔实验室高的0004nep和000005nip。
后面两个算是浪漫阵营,纯理论研究,他们就没想过产业化的事情。
而euv太超前,短期内根本无法实现。
我个人还是更看好尼康的干式157n技术路径。”
卿云笑了,他懒得和程进扯什么科学英雄史观的问题,更没兴趣和他聊技术路径路径,开口说道,
“荷兰的a正在和林本坚一起共同攻坚浸入式光刻技术。”
程进闻言摇了摇头,“没用的,浸入式通过水滴折射确实可以跳过157n,直接做到134n波长,而后就会被65n的最高生产分辨率给卡住,到时候怎么办?
小卿,光刻是要遵循瑞利公式的,λ为光源波长、na为数值孔径、为光刻工艺系数,三者共同决定投影式光刻机分辨率d。
光刻机的分辨率与光源波长成正比,想要制造出更小的尺寸,就需要缩短光源的波长,这也是光刻机世代演变的核心。
所以,你不管怎么折射,最终还是要通过光源的波长来解决问题。”
熟知后事的卿云很清楚,程进说的是对的。
浸入式、浸没式、浸润式,其光源都是193n激光器,随后是根据瑞利公式的另一个参数孔径,来实现精度的提高。
再之后,便是二次曝光技术,同样是基于193n的光源。
而最终,在duv后,a还是走了波长135n的euv路径。
但那是十来年后的事情了。
彼时的a已经一家独大,它的领先优势可以随意切换赛道,但此时的光刻机市场却并非如此。
此时还是群雄混战时期,谁先突破,便是赢家通吃。
a与尼康佳能的光刻机之战,其实是一个弱者在走投无路之下,抱着‘光脚的不怕穿鞋的’的赌命心态进行绝地突围的故事。
a能赢,并不在于林本坚的技术有多先进,而是在于林本坚给出了一个商业友好性极强的工艺方案。
在a推出浸入式
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