第140章晶圆切割裂纹异常
阳光正好,微风不燥。
姜华迈着六亲不认的脚步,径直走到了吸烟区,朝着洁白的墙壁一靠,用牙齿咬了一根香烟,将双手插在了裤兜里,脑袋不时摆动一下,眼睛东瞅瞅西望望,一副痞帅的样子。
这个工厂队伍最庞大的是生产部,作为前道主管,他可是生产部的老二。
老二就要有老二的样子,最近他无形之中养成了走路的时候六亲不认的习惯,抽烟的时候也懒得用手,就用牙齿咬着一直抽,香烟烧到嘴巴边了,他就往后拉一下嘴唇,露出一排已经被熏黄了的牙齿。
“老同学,有啥事呢?”姜华歪着脑袋问道。
“昨天安排工程技术人员用假片做工艺验证,也不知道情况怎样了?”辛佟用手指弹了弹烟灰说道。
“等会咱们一起去车间看看!”
“我隐约感觉这个项目并不简单,摩托罗拉的项目,我们千万不能掉以轻心。”辛佟抬起头仰望着蔚蓝的天空说道。
“下一周客户来晶圆了,是驴子是马,拉出来溜溜就知道了。”
抽完烟,二人径直来到了晶圆减薄车间。
昨天去减薄看了一眼,他就无师自通了?
现场只有一名工艺技术员在场,姜华一把就将他抓住了:“昨天安排你们工艺做验证,你们有做过150μm减薄验证吗?”
还好,这只是假片验证,要是直接拿客户的实验片验证,估计很快就会把实验片用完了,重新申请实验片走流程跑物流起码要耽搁一个月时间。
“粗磨选用325#的磨轮,没有错,不过粗磨过后形成的损伤层大约为20μm左右,粗糙度约为1.5μm,精磨使用900#的磨轮,其损伤层大约为5μm左右,粗糙度约为0.5μm,这样的高低不平纹路,会造成应力集中,使后续工艺划片产生裂纹,我建议精磨采用2500#磨轮试试,假片做完之后测量一下翘曲度,如果翘曲度小于200μm,你们安排切割验证。”辛佟非常自信地说道。
辛佟笑了笑,要不是刚才咨询张凯峻,他也一头雾水。
看着工程部老大和WS天王对辛佟的分析连连点头,姜华也惊呆了,这么说老同学的本领已经超过这些顶级高手了?
关键是他都没有在晶圆减薄工序呆过一天啊!
“这个回去还要从4M1E的角度排查一下!”谢工回答道。
“好的,辛经理,我们按照你的要求再做一些假片验证!”谢剑风点了点头。
“这么说来,应力还是来自于减薄工序,那么我想问你,你有测量过减薄后晶圆的翘曲度吗?”罗高工问道。
“是的!”谢工点了点头。
辛佟暗自感叹,真没有想到谢工也考虑到减薄的应力了啊,天王就是天王,不过400μm是不是有点大了?
“2
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